Jouvence de machine PVD
Nous proposons de mettre à jour votre machine PVD : matériel et logiciel
Chauffage du porte-substrat de 200 à 800°C
Ajout de volets, mouvement du porte-substrat, mesure de pression, de température
Thermorégulation de l'enceinte à vide
Rénovation de cathodes magnétron ou de sources arcs.
Régulation de gaz réactifs par spéctrométrie optique